二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293817965 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是一款高性能的离子植入器和显示器。这一尖端工具提供了离子种类的精确、可靠和准确的植入半导体底物。GSD 200离子植入器设计用于处理从晶圆到字素、金属薄膜、纳米线和其他纳米结构材料的多种材料。离子植入器具有可定制的加热系统，允许用户设定高效植入所需的精确温度。它具有较高的电压能力，便于处理具有较大离子束能量扩散的纳米结构，从而实现更高的植入精度。它的多区法拉第笼结构提供了一个屏蔽无关的电场和磁场以及更好的聚焦离子束。GSD 200的监控能力提供可靠和准确的过程控制，以更好的过程一致性和植入剂量的监控。该监视器可以检测入射离子束的细微变化，提供植入剂量的精确定位。GSD 200的控制界面具有图形用户界面、宏编程以及大量重复进程脚本等高级功能。对植入过程的全面控制可以提高植入物的效率和更快地交付植入物。GSD 200还提供卓越的等离子体均匀性和低能扩展控制。具有良好的离子束实时调节和控制能力。它还允许用户配置系统以补偿物理布置或真空环境中的像差。GSD 200为用户提供了用于各种植入过程的按键解决方桉。GSD 200具有强大的设计、广泛的适用性和先进的控制特性，是离子植入和监测的首选。