二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #9024429 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9024429
Implanter, 6"
Source head: enhanced source
High voltage bushing: standard
Extraction electrode: yes
Extraction: 80 kV
Source analyzer: triple indexed mass analysis magnet & power supply
RGA resolver: N/A
RGA chamber: N/A
HYT: N/A
MER: N/A
Charge control p/n: 1168890
Post accel elect: N/A
Flag Faraday: standard
In-air wafer handling:
Automatic notch aligner (dual sensor)
6" 4-cassette table
Dummy cassette 25-slot
Vacuum cassette
Load buffer #1
In-air robot
In-vac wafer handling:
In-vac arm
Holder
Unclamp
Elevator
Gryo drive: 2-axis variable implant angle, ± 12 degrees in both axes
Disk drive type: rotary drive
Disk standard disk
Cell controller: Cell 133
Dose controller: real-time patented dose control
SUN workstation:
SUN OS
SPARC 5 (Pri)
SPARC 5 (Sec)
SMIF: N/A
Disk chiller: HX-150
Compressor: Suzuki Shokan C300H
GeF4 (high pressure): N/A
PH3: (SDS) Brooks
BF3: (SDS) unit MFC
XE: N/A
Argon (high pressure): unit MFC
RP1: Ebara 40 x 20
RP2: Ebara 40 x 20
P1: Seiko Seiki H2000C
P2: CTI OB 8
P3: CTI OB 10
IG1: hot cathode ion gauge
IG2: N/A
IG3: hot cathode ion gauge
Currently installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是一种高能离子植入器和监控器，旨在生产和监控用于制造半导体元件的离子。NV GDS 200是一种可靠且先进的工具，专门设计用于将多个离子植入过程集成到一个统一的设备中，最大限度地提高生产力、准确性和效率。AXCELIS NV GSD 200配备了四门直流高能离子枪，每门都有自己的快门和独立电源。该枪提供高达190keV的可调光束能量范围，允许更高的吨位和更广泛的植入功能。EATON NOVA NV-GSD-200还具有强大的原位监测器，能够测量离子植入区的离子束均匀性和碎片浓度。此监视器测量任何能量高达190 keV的离子,以及它们的轮廓、电流、电压和俯仰角。此外，EATON NOVA NV GSD 200配备了用于控制设置和分析数据的软件功能。该软件有助于优化植入过程,减少过程的可变性,并提供始终如一的高质量产品。EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-200还具有自动化维护系统,旨在使系统保持峰值性能。自动化功能包括视觉故障单元、电源自动关机和安全机器，以防止植入物过热。总体而言,AXCELIS NV-GSD-200是一个强大而可靠的精密离子植入和监测工具.它拥有四门直流离子枪、强大的现场监视器和精密的自动化维护系统,NV-GSD-200可以实现高精度过程,减少过程的可变性,并保证一贯的高质量产品。
还没有评论