二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #162060 待售
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已售出
ID: 162060
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
High current ion implanter, 8"
With turnkey base
Specifications:
(25) Slots cassette
(4) cassettes capacity
ELS source head
(2) SUN Workstations
VME 177 cell controller
(2) SDS gas lines (ASH3 and PH3)
(2) HEWLETT-PACKARD Gas lines (BF3 and ARGON)
P-SHOWER Electron shower
Post acceleration high voltage, 80 KEV
Belt type rotary drive
AFFINITY Disk chiller
Variable implant angle, 2-Axis
Real time patented dose controller
STP H2000C Source turbo pump
Cryo pumps:
0B-8F P2
0B-10F P3
Compressor: 8200/8510
Monitor type: CRT
Standard GSD air robot
Power:
Total energy: 180 KEV
5E11~1E16 Ions/cm2 dose range
Throughput: 210 pieces/hour
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E Ion Implanter&Monitor是一款先进的高性能离子植入器，能够处理多种材料的高精度、大面积植入。它具有可靠、坚固的设计,并配备了广泛的安全功能,以确保操作始终安全。AXCELIS NV-GSD-200E由高压直流电源供电,能够产生高达10千瓦能量的低发射光束。其精确的光束控制和精确的调节系统确保了一致的掺杂分布和精确的光束对准。该设备还集成了自动化过程控制和一整套诊断程序,有助于简化操作并确保精确的性能。这种离子植入器专为半导体制造而设计，提供了广泛的植入能量、广泛的可用束电流以及可用于不同应用的离子类型。具有精准植入的高端定位能力和提供植入剂量实时控制的高分辨率光束电流监控设备。该装置还具有精密的电子控制，以确保精确的剂量和对准以及可靠的底物处理。该装置由电子束安全套保护，以防止对植入材料造成损害，并确保过程中的辐射安全。EATON NOVA NV-GSD 200E还具有先进的热控制系统,使其能够在临时停电和环境条件的其他变化中保持一致的温度。它结构刚性轻巧，非常适合各种工业和科学应用。简单的维护和清晰的说明使GSD 200E易于使用和维护。此外，还可与其他设备集成，确保工作流程顺畅，单位效率最高。NV-IonImplanter&Monitor是一种先进、可靠的机器，可在多种能量下进行精确、大面积的植入。它提供了广泛的安全功能，可以与其他系统集成，使其成为工业和科学应用的理想选择。
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