二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #163109 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E是一种高度先进的离子植入器和显示器。它旨在提供高效、可靠、精确的掺杂剂在各种基质上的植入。机器利用离子源产生一束离子束，然后加速到所需的能量。然后，该光束通过电极指向适当的底物，在那里掺杂离子被植入到底物材料中。AXCELIS NV-GSD-200E具有独特的数字驱动器单元,可提供高性能、精确的离子植入效果。这种数字驱动装置具有一个数字反馈回路，能够以最小的光束"振荡"实现最佳的植入效果。此外，数字驱动单元可以调整，以提供广泛的植入能量，范围从0.5到40 keV。机器还包括一个强大的监测设备。监视器提供每个植入物的剂量和能量的实时更新，以及过程中的底物温度。因此，用户可以调整植入参数，以微调植入过程，获得最佳效果。EATON NOVA NV-GSD 200E具有真空系统，在过程中保持清洁的植入室。这个真空单元由文丘里泵和涡轮泵组成，能够维持10-6的压力从-9.0到+9.0 inHg。因此,该机器可以在ISO 5类清洁室环境中使用。最后，NV-GSD-200E由于其冗余的安全和控制机器而高度安全可靠。此工具提供冗余的安全控制、警报和警告系统,以提醒用户注意潜在的危险情况。此外，该机器的设计旨在减少和消除电弧或其他损坏基板的可能性。总之,NV GSD 200 E是一种强大可靠的离子植入器和监测器.它提供高效、准确的植入与它的数字驱动单元，而它的监控资产提供的基板的状况实时反馈。其健壮的真空模型允许它在iso 5级洁净室环境中使用，其冗余特性确保其用户免受潜在危险条件的影响。