二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #293586689 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E是一种最先进的离子植入器和监视器。半导体制造过程中使用离子植入器，因为它负责将掺杂剂如硼、磷、砷引入基材中，以产生所需的电荷。AXCELIS的AXCELIS NV-GSD-200E模型是为生产现场构建的,可提供卓越的性能以实现最大的吞吐量。EATON NOVA NV-GSD 200E采用先进的高能束线技术，提高了精度，提高了均匀性，提高了剂量控制。这种离子植入器配备了多丝高电流Cockcroft-Walton设备，能够向基材输送非常大的1000A电流。这会在不同的基质上形成一致、均匀的植入物轮廓,从而带来更好的性能。除了其先进的光束线技术外，AXCELIS NV GSD 200 E还配备了精确的光学对准系统，可以将遮罩精确放置在基材上。这确保了一个精确的植入过程与最小的掩模不对准。离子植入器还包括三维剂量图分析仪和实时反馈回路，两者都允许在整个过程中精确控制离子植入过程。NV-GSD-200E还配备了一个内置的监控单元，以确保植入过程平稳高效地运行。该监视器记录过程和光束线数据，并能够检测离子植入过程中的任何错误或故障。这有助于用户快速诊断和纠正任何问题,从而减少停机时间。总体而言,AXCELIS NV GSD 200E是一种功能强大、可靠且灵活的离子植入器和显示器.其先进的光束线技术和光学对准工具允许一致，均匀植入和精确放置面罩。其板载监控资产有助于检测和诊断过程中的任何错误,从而将停机时间保持在最低限度。AXCELIS NV GSD-200E是寻找性能、精度和控制离子植入过程的最佳选择。