二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E2 #9268106 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E2是一种最先进的离子植入器和监控器,可精确控制微量离子过程。该设备专为用于半导体制造、生物医学器件制造和高端曝光技术的超高精度植入物而设计。GSD 200E2采用了先进的高效腔离子光学器件和高压离子源,可实现精细控制和快速脉冲操作以及高通量。该设备还包括一个先进的集成监控系统，在植入物过程中跟踪离子脉冲特性。该单元的闭环反馈允许对植入物进行动态控制，从而实现高度准确和可重复的植入物。此外，该监视器能够计算和记录植入粒子的浓度，具有亚纳米精度。NOVAAXCELIS GSD 200E2使用优化的冷却机来操作,以确保稳定和一致的植入物。这种冷却工具还有助于减少整个室内的加热和颗粒积聚，确保每次植入都能达到理想的效果。资产还配备了旨在增加植入过程中安全性的附加功能，包括全自动腔室清洗模型和高速测量能力。该设备还具有提供各种参数数据的高精度分析系统。这包括离子动能，以及能量剖面数据和实时分析。该单元收集的数据可用于辅助流程开发，并为每个植入物的成功提供反馈。总体而言，AXCELIS NV GSD-200E2旨在提供对离子植入过程最精确的控制。这款离子植入器和显示器配备了最新技术、集成监控和高精度分析，使其成为需要精确控制的应用的理想解决方桉。