二手 EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9226069 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80离子植入器和监控器是一种用于将离子植入半导体材料的高精度工具。是一种全自动设备，可用于单晶片或批量植入。该系统采用先进的电子和真空技术,使其能够保持高精度和高精度,同时一次提供高达80 kW的能量。它是当今市场上最先进的植入系统之一。AXCELIS NV-GSD-A-80具有最先进的控制单元,可完全控制植入物参数,包括能量、电场、离子剂量率、掺杂类型和水平、斑点大小和渐进扫描。这允许对半导体制造中使用的各种材料进行极其精确的植入。EATON NOVA NV-GSD-A-80还配备了自动调节快门机,无需手动调节。该工具还配备了全面、综合的监测资产，有助于确保流程可重复性和可重复的流程结果。这种监测模型包括一系列传感器，以提供光束强度、电流、功率、能量、电压、温度、时间和附加参数的反馈。它还包括一个高级监视GUI,它提供参数的可视化表示,并允许在必要时快速调整。ATI AXCELIS集成植入设备还配备了先进的冷却系统，有助于保持植入过程的最佳温度。这种冷却装置有助于提高植入过程的准确性和可重复性，并有助于减少停机时间。NV-GSD-A-80是一种通用工具，可用于各种应用，包括结掺杂、接触掺杂、外延位点掺杂、溅射和电镀。它也非常适合于广泛的材料，包括硅、砷化​​氙、磷化氙以及半导体制造中使用的多种其他材料。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80是一款先进的全自动离子植入器和显示器,专为高精度植入各种半导体材料而设计。该机器提供了全面的控制、集成的监控工具、先进的冷却资产以及全面的GUI,以实现更快的数据分析。这使得可重复、高质量的处理结果和改进的过程控制成为可能。