二手 EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9239611 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80是一种先进的高性能离子植入器和监控设备,它结合了可靠的精密植入技术和高度灵活、复杂的监控系统。这个独特的单元提供了比其他系统更快的周期/秒和更高的精度，同时还提供了植入物范围、屏蔽要求和气体输送方面的更大灵活性。离子植入器是将材料植入半导体基板过程中的第一步。AXCELIS NV-GSD-A-80旨在为半导体晶片基板上存在的精确图样特征提供高度精确的离子注入水平。它能够植入一系列的掺杂剂，包括磷、砷、硼、她的铵、移植物，以及不含掺杂剂的底物。EATON NOVA NV-GSD-A-80配备了强大的磁铁，可以在给定的能量水平上对光束弧角和速度进行高水平的控制。这样可以确保晶圆表面的最佳植入深度和均匀性。此外，其先进的冷却机有助于最大限度地减少热引起的伤害。Ion Implanter的设计目的是通过一个有效的操作程序创建一个均匀分布的植入材料。它还具有先进的磁透镜技术，以提高光束方向精度。光束控制由Total Radiation Defect Control （TRD）软件管理。该软件旨在让植入器工具快速适应不断变化的底物成分、图桉和深度。Ion Implment Monitor能够实时监控植入物参数和底物，以确保资产提供可靠、安全、可重复的植入物。监视器使用高级检测器来测量广泛的参数，包括掺杂水平、各向异性、热影响和厚度。这有助于分析植入物的结果,并有助于确保光刻的准确性.NV-GSD-A-80是一个可靠和高效的离子植入器和监控模型。它提供了精密植入技术、磁透镜、TRD软件和高级监控功能等一系列功能和技术，使其能够高效生产高精度和可重复性水平的高性能植入物。因此，它是半导体制造应用的理想选择。