二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9203805 待售
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ID: 9203805
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
High energy ion implanter, 8"
Chamber
Extraction assy
Source isolation valve
Injector faraday assy
LINAC Chamber
Quadrupole assy
Resonator assy
Resolver faraday
E-Shower assy
P2 Cryo pump
(2) CTI Cryo compressors
End-station module:
DEXON With air circulation curtain
AXCELIS STD ATM Robot
Notch
Dummy cassette
(2) Load buffers
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Beam profile oscilloscope
Cell controller: 133
Load-lock type: GSD 100 / 200, HE
Main SUN computer SPARC station 5
Main monitor
Fiber loops
Process module:
Disk NV-GSD-200 segment type
Faraday flag
Electron shower
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Rotary drive: Direct drive
Beamline module:
HV Power supply: Advance HIVOLT
HV Stack: OL8000 / 104 / 05, 100 kV
Post ACCEL volt: Maximum 1 MeV
Extraction suppression PS
AMU: BSL
AMU: PS EMI EMS 40-150
Hall probe: AMU / FEM
LINAC System: HE STD
(10) Resonators
(2) ADVANCED ENERGY 3155038-001 RF Power supplies
(8) ADVANCED ENERGY 3155038-004
(5) Quad power supplies: GHI PS / Dual output
FEM BSL
(2) EMI EMS 30-165 FEM Power supplies
Source module:
ELS Source head
EMI EMS 10-60 Filament PS
EMI EMS 150-7 Arc PS
Cathode PS
Source magnet STD
EMI EMS 25-25 Source magnet PS
Source bushing
HE Extraction assembly
Gas box module:
Gas box type: GSD-100, 80 KV
Gas loop 1: Ar, HP
Gas loop 2: BF3, HP
Gas loop 3: AsH3, SDS
Gas loop 4: PH3, SDS
Loop 1 MFC: MKS 1179A, Ar, 5 sccm
Loop 2 MFC: MKS 1179A, N2, 10 sccm
Loop 3 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Loop 4 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Vacuum system:
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Source turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-8 Resolving cryo pump
CTI-CRYOGENICS OB-10 V3 Cryo pump
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Right)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Left)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C / Beam guide turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-250F Disk cryo pump
(4) EATON NOVA / AXCELIS 3300002
Make / Gas name / Usage / Size
SWAGELOK / CDA / Machine air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / Ar / Process Air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / PN2 / Process vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / GN2 / Purge vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / N2 / Gas box / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / SF6 / Linac / SUS Male, 3/8"
Missing parts:
Gas box DI PCB
P8 Turbo pump
Input power: 480 VAC, 3-Phase, 60 Hz, 87 kVA
Output power: 1 MeV, 1 mA
1997 vintage.
EatonEaton NOVA/AXCELIS NV GSD-HE是一种革命性的离子植入器和监控器，提供对离子植入过程的高级控制。这种可靠的装置提供了全面的特性和功能，如最新的高压技术、先进的自动束电流监测器、可编程的剂量结束计算。它旨在降低成本和尽量减少浪费，同时准确控制植入物。通过先进的电子控制系统实现了最高性能，提供了高度可靠和均匀的植入。该控制系统具有先进的闭环波束电流监测和自动波束电流控制功能，可提供最高的植入精度。GSD-HE还有一个数字计时器，带有可编程分区，用于精确控制植入物的启动/停止时间。GSD-HE具有内置的安全功能,以防止损坏设备和操作员。配备紧急停止按钮快速关机，外部防辐射罩最大防护。此外，GSD-HE设计采用低排放、低泄漏近饱和设计，以确保材料的最小泄漏并减少环境危害。EatonAXCELIS NV GSD HE非常适合在任何工业环境中使用,它具有先进的控制、安全功能和优化的设计。它提供稳定的束流控制和精确的剂量率计算，使操作员能够完全控制离子的植入过程。此外，其高度可靠和均匀的植入性能确保了产品的最高质量。EatonEaton NOVA NV-GSD HE具有先进的功能,是任何工业环境中必不可少的工具。
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