二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293637189 待售

EATON NOVA / AXCELIS NV GSD
ID: 293637189
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
High current implanter, 8" Chamber 1993 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD是一款先进的离子植入器和监视器,旨在在离子植入应用中提供卓越的性能。以最佳的设计和可靠的操作,GSD可以确保精确和可重复的植入精确和可重现的剂量。GSD是满足各种应用需求的理想解决方桉,包括半导体器件制造、光学材料制造、有机和无机材料精加工等。AXCELIS NV GSD具有先进的离子源控制功能,允许精确精确的剂量控制。这种控制设备提供精确的控制,以减少光束缺陷和提高精度,允许精确和可重复植入。此外,GSD还提供了一种高分辨率量表(HRVM),用于监测植入物浓度和检测光束中的干扰。EATON NOVA NV-GSD还通过其集成阵列充电系统(ACS)和辐射阵列单元(RAS)提供了高度的灵活性和准确性。ACS旨在提供对离子种类和剂量的精确控制,从而能够选择最佳的植入物参数,从而提高性能和可靠性。RAS是一种先进的机器,提供准确和可重复的植入时间,使各种基材和材料的精确控制。NV GSD配备了视频触发工具(VTR),允许对网格进行高速成像。即使植入条件不同,这种资产也能确保精确准确的操作。此外,GSD还配备了用户友好的GUI和运行时界面,允许轻松直观的操作。AXCELIS NV-GSD是一个完全集成的模型,具有辅助控制、远程控制和数据记录等高级功能。这样可以全面控制植入参数和过程,包括温度控制、光束控制、停留时间控制等。GSD也是可扩展的,允许用户自定义设置以满足其特定要求。NV-GSD的高级功能,加上其卓越的性能,使其成为任何离子植入应用的理想选择。凭借其强大可靠的特点和优越的性能,即使是最具挑战性的材料也能可靠地准确地植入。对于任何需要精确和可重复离子植入的应用,EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD是理想的解决方桉。
还没有评论