二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII-90 #9059238 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII-90是一种用于高精度植入和均质晶圆覆盖的离子植入器和显示器。广泛应用于半导体工业的多种应用。该装置具有90 keV的最小受体供应，提供了运动中离子剂量的最佳精度和均匀性。100 uA至1mA离子束电流范围可确保高植入性能。这是由设备的专利筛选电子枪和自动高音中断模式成为可能。此外,还提供多种光束对齐选项,包括一维、二维和可编程扫描,从而实现精确和精确的阵列植入。AXCELIS NV GSDIII 90具有实时的镜头结束监视器和功能，提供植入参数的实时评估。此特性还有助于控制多普勒拓宽，改善晶圆均匀性结果。该监视器还具有总植入物质量（TIM）计算功能,允许用户优化剂量和轮廓参数并轻松验证结果。该装置还设有一个自动加速器安全系统，包括一个电动机旋转批，和一个惯性阻尼系统，以减少弧和溅射。此外，共有八个独立的端口可用于灵活支持气体和加工气体。而且，EATON NOVA NV-GSDIII-90支持多种掺杂剂，最多可处理16种不同的掺杂水平。它还配备了自洁技术和限位探测器，以确保安全的工作环境。EATON NOVA NV GSDIII-90是一种可靠、高精度的离子植入器/显示器.它具有强大的90 keV最小接收器供应量和广泛的处理选项,允许用户实现同质、高精度的结果。设备的高级监控和自动化系统确保了安全高效的操作。