二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII LE #9083650 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII LE离子植入器和监测器是一种精密的工具，有助于将精确控制剂量的离子传递到材料中以改变其物理性质。这种工艺常用于半导体工业的器件制造。AXCELIS NV GSDIII LE利用离子源生成离子。然后加速这些离子并进行质量分析，根据所需的植入物剂量和能量产生能量扩散。此外，GSDIII LE采用多室设计，进一步提高了植入过程的精度和精度。GSDIII LE配备了最先进的监测仪器。这些监视器设计用于检测温度、电压和电流的微小变化-所有这些都会影响离子注入过程的质量。模拟和数字控制系统是精确和准确的，以确保所有进程都按照预期的确切方式进行。除了提供卓越的控制和准确度外，EATON NOVA NV GSDIII LE还提供了可调剂量率。这使得它能够完全满足各种半导体应用的要求。广泛的剂量率允许各种芯片设计的最佳量身定制植入时间表。此外，利用模块化结构，这个系统很容易定制，以适应用户的独特需求。NV GSDIII LE还具有多种安全功能，以确保用户的保护。这些特点包括保护屏蔽，以减少激光和离子束暴露，以及大量的安全联锁。此外，设计还包括一个维护油烟罩，以排出离子植入过程产生的烟雾。EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII LE是一种可靠而全面的离子植入和监测工具。其精密的控制系统、可调剂量率和安全特性使其成为各种半导体器件的理想选择。此外,它的模块化结构和易于定制,使其成为许多应用程序的通用设备。