二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII LE #9083651 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII LE是半导体工业中使用的离子植入工具和监测器。该装置提供对植入参数的精确控制，以达到高精度结果。该设备能够精确控制光束电流、能量、植入物种类和深度剖面，为设备应用提供最佳结构。该系统由高压电源、阻尼器、扩展器和分离器模块组成，以及目标笼、气体分配单元、射频发生器、快门、显示器和温度/压力控制器。这确保了植入过程的最佳环境。电源能够提供高达1,000 kW的功率,并具有广泛的电压调节范围。这允许离子束的快速加速和植入物表面的精确控制。阻尼器和扩展器模块控制着入射光束的特性，有助于最大限度地减少由于不可控制的源不稳定而导致的过程变异性。分离器模块有效地去除不需要的双离子，减少植入物的污染。目标笼子装有要植入的装置，由能承受高温高压的刚性材料制成。气体分配机为离子植入过程提供了均匀的环境。射频发生器控制重离子从源向目标的传输。快门模块调节植入物区域的光线水平，并最大限度地减少对植入过程的干扰。显示器对植入的晶片进行连续监控,以确保性能正常。温度/压力控制器可以在目标环境内保持精确的温度和压力，允许最佳的植入结果。AXCELIS NV GSDIII LE是一种强大而精确的离子植入和监测工具。这种装置在半导体工业中使用，能够以最小的中断持续提供可靠的结果。它对植入物参数的精确控制确保了成功的设备结构进行处理。该工具允许可靠和高效的植入过程,有助于提高生产率和质量。