二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII #293762494 待售

Eaton/NovaEaton NOVA/AXCELIS NV GSDIII离子植入器和监视器是一种功能强大、用途广泛的植入设备，用于制造先进的设备技术。该系统旨在提供对掺杂剂和掺杂剂物种的极其精确和可重复的植入，以及对植入物种的精确监测。GSDIII是一个四轴单元，允许计算机完全控制植入参数，包括光束能量、剂量和目标上的形状。该机器利用一个超低真空室与全场离子植入器，产生非常低剂量的物种，同时仍然保持所需的植入轮廓。腔室加热有助于稳定环境，另外还有一个气体歧管，为进一步控制植入环境提供准确稳定的气流。此外，还有各种各样的基板处理构型和阶段，允许植入各种各样的基板。GSDIII采用现代数字接口设计，可方便设置和控制植入过程。这包括植入配置文件的直观图形显示,以及详细的数据记录和配置文件的自动存档,以便以后轻松访问。该工具通过在植入室中监测光束的能量、剂量和形状来提供植入物种的精确反馈。通过使用来自监视器的传感器反馈，操作员可以确保植入按照需要进行，必要时可以重新调整参数。GSDIII资产的综合控制，结合其高效有力的设计，使其成为各种植入活动植入的最佳选择。该模型可靠性高，易于维修，确保最大渗透效率。强大的设计和用户友好的界面使设备成为可靠、真正先进的植入技术解决方桉。