二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760169 待售
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EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款高端植入和监控设备，设计用于半导体行业。适用于中高剂量生产应用，提供高通量和高分辨率剂量异质性。NovaAXCELIS Optima HD系统配备高压电源，以及高度优化的波束控制逻辑和多级波束滚动装置。这允许在X-Y平面中精确和非振荡的离子束通道,以及用于实现剂量均匀性的Z轴。该装置还具有扩展的控制风险评估和无缺陷植入能力，提供高工艺可靠性。此外,NovaEaton NOVA Optima HD机器还提供了增强的植入能力,能够实现高精度的广泛剂量深度。NovaOptima HD工具还包括一个监视器资产,其中包括几个增强监控准确性的功能。其中包括实时、全自动的波束轮廓监视器、具有多个网格的自动波束轮廓监视器和稳态电流监视器。此外，模型中还集成了许多监视器，如光束自诊断和真空泄漏监测。NovaEATON NOVA/AXCELIS Optima HD设备的其他特点还包括一个光束卸载系统，以协助植入室的装卸。该单元还提供了坚固的接地机、高压关闭保护装置、集成的安全联锁监控以及集成的粒子探测器。最后,AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款功能强大、可靠的植入工具,具有多种功能,可确保植入质量和高通量生产。所包括的监测资产和附加功能进一步保证了准确性和可靠性，同时又具有成本效益并符合半导体行业标准。
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