二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760175 待售

AXCELIS/Acelis EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是下一代离子植入器和显示器,在单个集成产品中提供增强的性能、灵活性和可靠性。这种设备的设计具有独特的专业知识和技术，以最大限度地提高效率和产量，同时提供最大的光束均匀性。AXCELIS Optima HD具有双离子源技术,允许在各种植入物浓度下更快、更高效地生产。自动化传输增强了系统的吞吐量能力,同时减少了停机时间。该单元的设计具有最佳的灵活性,允许自定义可编程性、高级故障检测以及一组统一的用户界面。EATON NOVA Optima HD能够对300 mm x 300 mm晶圆进行高分辨率扫描。这台机器能够持续保持一个紧密的光束光斑大小低至0.3mm。它也被设计为尽量减少反射的不利影响，将较少的粒子引入植入过程。该工具还具有均匀性控制功能,允许均匀分布高达4.5%。EATON NOVA/AcelisOptima HD配备了几项高级安全功能。离子源温度范围自动监控，保持在最佳范围内，以保证安全运行。此外，该资产还具有闭环监控功能，可降低光束从目标散射的风险。此型号还设计为易于使用。用户界面可以通过USB重新定位器或PLC接口进行编程，这使得操作比以往任何时候都更加方便。该设备还具有自我诊断功能,可以在用户出现问题之前提醒他们注意潜在的问题。与EATON NOVA/AXCELIS Optima HD配合使用,由于其低振动和低声级,因此具有极小的侵入性。这使得植入过程更安静、更方便，可以提高生产力。该系统具有坚固耐用的部件,包括一系列可靠的光束偏转器,可提供长达10年的使用寿命,因此其设计寿命令人难以置信。EATON NOVA/AXCELIS/Acelis AXCELIS Optima HD是一款功能强大且可靠的离子植入器和显示器。其双离子源技术和自动化运输特性提高了效率，而先进的安全功能保证了稳定安全的运行。该装置设计方便，生产高效，是植入物研究的理想选择。