二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293778546 待售

ID: 293778546
High current implanter (2) Load ports Wafer handling module.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一款先进的离子植入器和监控设备,旨在为离子和粒子束植入应用提供业界领先的性能。AXCELIS Optima HD专为提供高能晶圆加工、超低排放植入和大批量生产而设计。该系统采用创新的光束包络驱动设计,允许操作覆盖各种植入能量和剂量。先进的数字离子光学单元能够产生高度均匀的植入场,提供卓越的工艺性能。EATON NOVA Optima HD具有集成的粒子加速度、离子源和光束控制子系统。所有这些组件都设计为在晶圆上植入各种可激活、导电和绝缘材料时提供高精度和精确度。此外,Optima HD还具有先进的实时动态植入电荷和温度监控功能。这种先进的监控机器允许可重复和准确的植入,如果没有实时的数据收集和分析将是不可能的。EATON NOVA/AXCELIS Optima HD提供用户友好的操作,并包括各种定制选项。其先进的图形用户界面有助于操作员最大限度地减少错误、减少维护和最大限度地提高吞吐量。AXCELIS Optima HD还包括高速分析处理器,具有出色的数据分析功能。该工具可以轻松升级以支持新技术和新流程。此外,EATON NOVA Optima HD还允许方便地集成远程诊断功能。Optima HD符合SEMI S2、S2P和S2PA安全标准,并带有一个为期一年的维护包。EATON NOVA/AXCELIS Optima HD旨在降低运营成本,同时帮助制造商在当今日益先进的市场中保持竞争力。AXCELIS Optima HD具有业界领先的速度、精度和性能,是希望升级离子植入器和监控资产的用户的理想选择。
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