二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9235241 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一种高性能离子植入器和显示器,通常用于微电子制造。它能够精确、过程驱动的功率控制，提供卓越的离子束均匀性。它提供了多种光束源，可用于植入大面积基质，提供高度均匀的植入能量和深度剂量，而不会降低薄膜性能。AXCELIS Optima HD是一款功能强大、灵活的离子植入器,能够为各种应用程序提供通用的操作和实现。它具有可编程控制的高速光束，为先进设备提供精确、均匀的掺杂轮廓。它可以用于从植入超厚膜到用于高速应用的薄膜的一切，并且可以针对各种各样的离子型、能量和剂量要求进行优化。该设备还具有用于大面积基板植入的动态扫描系统，它提供了更深、更均匀的轮廓。该装置能够以最小的能量损失在大面积上提供大剂量，提供更好的植入物均匀性和深度剂量精度。它还允许最多六个不同的来源被用于多种离子类型的'多组分'植入，提供高度的离子植入灵活性和优化。EATON NOVA Optima HD还配备了多项用户友好功能,可简化维护、增加正常运行时间并提高工作效率。其中包括一台自动机器,用于监控主光束功率、光束线环境条件和真空压力,同时还提供对高温事件或回流的即时响应。它还提供了先进的冷却工具和运动控制技术,可确保改善梁的均匀性和工艺输出,同时最大限度地减少不平衡。Optima HD是植入半导体器件的优化资产,提供可靠、准确的剂量和深度分布以及高分辨率成像和过程控制。是适用于MEMS、NEMS、医疗应用等先进技术的解决方桉，为可靠性和性能而设计。对于那些希望提高产量和提高生产过程吞吐量的人来说，这个模型是一个理想的选择。