二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9244859 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一种组合离子植入器和监视器，用于半导体材料加工。这台先进的设备设有低能端子、带遥控的扫描电子显微镜、X射线荧光光谱仪和三轴样品定位仪。AXCELIS Optima HD还装有用于检测样品表面发光的NaI闪烁体，以及用于测量电流的电子显微镜型探测器。所有这些成分使EATON NOVA Optima HD能够准确地将精确剂量的离子输送到样品材料中。低能终端配备了先进的特性，允许在植入过程中精确控制光束能量。该终端还具有电源、电流控制、温度控制系统、闸阀控制单元等其他功能范围。与Optima HD的所有组件一样,低能耗终端功能的设计也是为了获得最佳性能。扫描电子显微镜（SEM）也配备了先进的功能。它包括一个5轴控制和一套全面的图像形成系统，可以用来收集关于样品材料的关键信息。它还可以容纳各种样本几何形状。此外,SEM还链接到计算机控制机器以实现远程操作。X射线荧光光谱仪确保在植入过程中对掺杂剂和污染物的精确控制。它利用线性加速器产生高聚焦、高能X射线束穿透样品材料并检测材料的特征性能量响应。然后收集和分析这些数据以确保精确植入。三轴样品定位器允许对样品材料进行精确操作，确保其正确定位，以实现最佳的植入精度。它具有对样品材料位置的精确空间控制，可以容纳各种各样的样品几何形状。最后，EATON NOVA/AXCELIS Optima HD还附带了一个NaI闪烁体，用于检测样品表面发出的光。这使得工具能够准确监控植入过程，而无需手动监控样品。这反过来又进一步确保了植入精度的最高水平。总体而言,AXCELIS Optima HD离子植入器和显示器是一项精密而强大的资产。它的高级功能和组件允许精确植入样品材料,最终确保一致的产量和可靠的产品性能。