二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9262050 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款用途广泛的下一代植入器和显示器,旨在帮助提高工作效率,同时实现卓越的光束均匀性、晶片质量和一致性。这款离子植入器在半导体行业树立了新的性能和可靠性水平，利用先进的光束技术和直观的软硬件特性的创新组合。Optima HX Implanter具有具有双等离子体扩展的专有双源OptiSource™离子源。这使得两种不同类型的离子--无论是正离子还是负离子--能够从每一个来源同时植入，从而实现最高生产率的离子植入。这种先进的源代码也比传统源代码少得多，便于维护和控制。该源被独特的提取栅极技术所包围，该技术确保了离子的可靠提取，并在晶圆表面提供了一致的均匀性。AXCELIS Optima HD显示器提供卓越的监控能力,包括光束电流控制、光斑大小和形状监控以及粒度测量。此监视器捕获植入晶片区域的100%,并通过独特的视觉系统检测植入过程中的任何变化。该系统使用智能摄像头来捕捉植入部位的图像并评估这些植入物的质量。Optima HX植入器和显示器由AXCELIS UNICUS™ Process Control Software提供支持,它提供了一个具有复杂分析功能的现代化平台。这款行业领先的软件让运营商在影响产品收益率之前，跟踪和趋势每项工作的状态，发现潜在问题，并实施纠正措施。总体而言,来自EATON NOVA的EATON NOVA Optima HD是寻求提高生产效率、卓越植入物均匀性和改进产品质量的半导体铸造厂的理想解决方桉。这款新一代植入器和监视器将高级源和监视器技术、直观的控制软件以及强大的过程控制功能结合到一个平台中,所有这些都使客户能够快速可靠地在其生产线中实现最高级别的性能和可靠性。