二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9311204 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一款最先进的离子植入器和显示器,旨在帮助您的半导体处理操作平稳高效地运行。AXCELIS Optima HD具有高达60 kW的开场操作和广泛的光束扫描速度,可以达到高深度的植入,并具有高通量。这样,您就可以快速准确地执行对设备性能至关重要的复杂植入物。EATON NOVA Optima HD获得专利的双光束扫描系统允许精确的光束控制,包括频率、光斑大小、功率和剂量。它还配备了AI驱动的TransVoltage Control System （TVCS）来调整电压状态,以优化植入控制。通过将选定的植入物配方与晶圆上的实际试验条件相匹配,Optima HD可以最大限度地减少超出范围的离子,同时仍能提供所需的配方效果。EATON NOVA/AXCELIS Optima HD还具有先进的自动电离控制功能,通过跟踪和校正由于温度、压力等原因在植入过程中发生的变化,使离子保持稳定。它内置了晶片产品的过程监控和记录,可提供重要的反馈并允许您更好地控制和优化过程,同时最大限度地提高效率。AXCELIS Optima HD配备了高分辨率显示器,可实时可视化离子注入,并确保该过程遵循指定的配方。该监视器允许您微调植入参数,并为统计过程控制提供全面的数据。它还允许您轻松地发现任何植入缺陷,如孔、尖峰或扭曲的波形,并自动调整设置以纠正这些缺陷。EATON NOVA Optima HD符合工业安全规格,配备了无可挑剔的安全系统,包括安全互锁和紧急停止按钮。它也有免维护的离子源，不用担心定期维护或更换费用。Optima HD还拥有PTW-4GB软件,其中包括标准配方开发工具、详细分析和报告以及直观的操作员界面。简而言之，EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一款先进可靠的离子植入器和显示器，具有尖端功能。它是半导体加工操作的理想选择，因为它能够以最佳的工艺控制和最低的维护成本实现精确高效的植入。