二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9353491 待售
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ID: 9353491
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
High current ion implanter, 12"
No Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款先进可靠的离子植入机,专为满足半导体行业最苛刻的要求而设计。它是一种机器人辅助设备,使高端植入能够以高精度提供优异的产量。AXCELIS Optima HD利用真空系统,包括集成的自动化压力和温度管理单元。该植入器还利用高压电源和先进的磁控管源设计,提高离子植入精度和性能。此外,集成的电子控制机有助于确保在整个植入过程中保持一致的剂量控制。EATON NOVA Optima HD配备了先进的光束线和自动化的光束传输工具。这确保了植入离子的精确和高效的传递。该机还设计用于最小化死区,提高植入均匀性。Optima HD监视和记录植入过程的每个步骤,允许操作员实时查看数据。该工具还允许操作员自动化某些过程,如植入参数的控制和植入条件的选择。这使用户能够最大限度地提高产量,并确保每个植入晶片的产量达到最佳。EATON NOVA/AXCELIS Optima HD离子植入器旨在满足行业最严格的要求,并提供高端植入性能。它能够植入广泛的离子,包括q型离子、高能离子和低能离子。其集成的激光互锁资产确保了最大的安全性,并通过了ISO 22301和USIOC-N10认证。AXCELIS Optima HD的设计和开发符合最高质量标准,为先进的半导体应用提供高性能的植入解决方桉。其可靠的离子源、先进的束线、自动传输模型以及集成的监控和记录能力,使其成为半导体制造商苛刻要求的绝佳选择。
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