二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9282114 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX是一种用于半导体器件制造的离子植入器和监控技术。它是一种高压、直接驱动的离子植入器，设计用于在将离子植入IC结构时提供卓越的速度、可靠性和准确性。AXCELIS Optima HDX用于半导体器件制造过程中的关键处理步骤，如介电层沉积、源植入和重掺杂。EATON NOVA Optima HDX的工作原理是将掺杂离子从离子源加载到等离子体加速器中，然后将离子加速到高能，精确地引导到所需的基板上。这种源到基板的传递通常是由一系列脉冲和扫描磁性透镜完成的，这导致了针对给定材料层优化的窄光束。Optima HDX具有先进的控制算法，可以限制脱靶沉积和控制植入后离子束轨迹。这确保了设备制造的准确性和可重复性。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX还提供了可以测量和跟踪离子植入过程的高级监控系统。这些系统使用多种传感器，如电流传感器、压力传感器和位置传感器，实时测量离子和基板层的特性。这确保了离子剂量、离子速度和离子束大小在给定的应用中得到优化。对AXCELIS Optima HDX进行了卓越的可靠性和准确性测试。其先进的监测系统经过设计，能够对离子束进行精确控制，并确保最高水平的性能。EATON NOVA Optima HDX可以以最有效的方式运行,以提供更高的质量、吞吐量和产量。总而言之，Optima HDX是一款高度先进、精密的直接驱动离子植入器和监视器，旨在精确控制离子植入过程，并提供最佳精度、速度和可靠性。Eaton NOVA/AXCELIS Optima HDX具有先进的优化功能,非常适合半导体器件制造的苛刻要求。