二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9355276 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX是一种离子植入器和显示器，用于生产半导体器件。它是一个先进的工具，既提供高速植入和精确监测植入过程。设备配有专有光束线和高端植入头组合，提供了广泛的植入特性。AXCELIS Optima HDX可以产生广泛的离子种类和剂量范围，有瓦数、脉冲和束线可调谐的选择。这允许对植入过程进行更大的控制，为用户提供更多的植入参数变化和更高效的植入会话。EATON NOVA Optima HDX具有获得专利的三层闭环监视器,旨在提供植入者精确控制植入过程所需的所有必要反馈。该监视器能够收集植入晶片上的数据，并配备了先进的过滤器来检测植入器参数中的任何异常，同时确保数据的准确性。Optima HDX还包括多阶段自动化，包括软件以实现系统的轻松和自动操作。该单元包括针对大量晶圆的自动批量编程，以及用于提高产率的综合统计过程控制。此外,EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX机器还具有多种安全功能,可确保人员和设备的安全。这包括一个安全联锁工具，除非满足所有安全参数，否则不会启动任何植入程序。资产还包括检测硬件和软件错误的自我诊断，以及检测和消除空气中颗粒污染的先进污染控制模型。AXCELIS Optima HDX是一款功能强大且可靠性很高的设备，提供先进的植入控制、广泛的植入特性和强大的监控功能，从而实现一致可靠的结果。该系统可以帮助提高植入产量和降低成本，使其成为商业半导体制造的理想选择。