二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDxT #9115399 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxT是一款高性能、高度可靠的离子植入器和显示器。它旨在提供一致且可重复的离子注入硅片等半导体基板。该设备的高吞吐量支持半导体处理能力,这对许多技术先进的应用至关重要。它为各种尺寸和材料的基材的加工提供了极好的灵活性，其先进的离子源设计确保了植入过程中高度的可重复性和准确性。AXCELIS Optima HDxT采用了双极离子源设计，使系统能够适应于多种离子种类的使用，包括As、P、B等。它还支持多种能量，包括低能量植入以及高能离子植入（HEII）。利用强大的光束传输装置，该机器能够产生高精度的植入物，并在得到的基板上保持高度的均匀性。为确保精确植入精度,EATON NOVA Optima HDxT还具有先进的温度控制功能。Optima HDxT还具有高级流程控制和诊断系统,以及高级集成分析和报告生成功能。凭借其先进的工艺控制，用户可以在整个植入过程中轻松监控和管理自己的工艺参数，包括离子植入能量、电流、束斑大小等。此外,该工具还支持全面的校准和诊断例程,允许无与伦比的数据采集和分析功能。此外,EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxT还包括一个高级集成监控资产,用户可以在植入过程的每个步骤中监控和调整参数。此模型不仅有助于确保精确的植入精度,而且允许用户根据特定应用程序的需要轻松优化过程。最后，设备还包括一整套综合安全功能，有助于确保过程的安全和可靠性。综上所述，AXCELIS Optima HDxT是一款高性能、高度可靠的离子植入器和显示器。它支持各种离子种类和能量，具有先进的温度控制和过程控制系统，并利用一整套综合的诊断和安全特性。EATON NOVA Optima HDxT通过其先进的监控系统和用户友好的校准和测试程序,为各种半导体处理应用程序提供了可靠的植入精度、可重复性和统一性。