二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9222810 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一款先进的离子植入器和监控设备。它旨在为先进的半导体器件制造和生产提供最先进的离子注入技术。AXCELIS Paradigm XE集成了专门设计的高级硬件和软件功能,以实现最高程度的过程控制以及精确、可重复植入剂量的精确交付。该系统由三个主要模块组成：高压电源、离子植入器和离子束监视器。高压电源（HVPS）是EATON NOVA Paradigm XE单元的心脏，负责创造加速光束中离子所需的电力。植入器利用这些电源提供的电力来产生一束离子束并将其输送到样品中，然后将其植入基板中。最后，采用离子束监控器对植入过程中的光束参数进行监测，保证了该过程的可靠性和可重复性。范式XE机配备了广泛的控制和参数设置。这些设置允许用户调整离子植入参数以匹配所需的设备制造规范。可以调整光束电流监测范围、稳定压力控制、单阳极或多阳极选择、光束功率控制、游标选择等方面，实现器件的优化制造。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE还配备了全面的安全功能，以确保随时安全运行。该工具将在发生故障时自动关闭光束电源，集成安全资产将监控所有关键参数，以保护操作员和设备免受潜在伤害。除了其先进的功能外，AXCELIS Paradigm XE模型也是为了易于使用而设计的。所有控件和设置都在控制台上清晰显示,可以通过按下按钮进行调整。这使得设备适合任何经验级别的操作员使用。EATON NOVA Paradigm XE是一种先进的离子植入器和监控系统。它为用户提供了广泛的控制和参数设置，以及全面的安全功能。它还具有直观的用户界面，使得它非常适合任何体验级别的操作员。范式XE是先进半导体器件制造和生产的理想选择。