二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9241171 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一款先进的离子植入器和监控器，支持离子植入和灰化过程，用于广泛的半导体和相关应用。利用创新技术，AXCELIS Paradigm XE提供了一系列功能，确保了准确和一致的离子植入。EATON NOVA Paradigm XE通过其先进的污染控制技术提供了高效的im-plantation系统。高效过滤模块利用颗粒保留技术，通过有效清除工艺室内的颗粒和残留气体污染物，确保等离子体和加工气体的清洁度。精密的圆柱形等离子体源提供了更高的离子束均匀性，并提供了高线性电流，可以精确控制杂质剖面。先进的范式XE还具有先进的计算机控制技术，以实现最高的光束重迭精度，以及在基材中精确放置杂质。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE的灵活配置元件保证与各种类型的晶圆配置以及许多其他元件兼容，包括可变轴空间偏转器、剥离棒、输出级线化器和直流磁控管源。此外,板载诊断软件包允许快速设置植入参数,并允许对设备进行完全控制。先进的AXCELIS范式XE还提供了一个材料处理监控套件，其中包括广泛绘制基板电阻率和均匀性的绘图。它还提供了自动数据采集和图形生成，以跟踪多个离子植入参数随着时间的推移。EATON NOVA Paradigm XE为各种离子植入及相关过程提供了高效的植入系统。其创新技术有助于最大限度地提高设备精度和效率，同时为清洁工艺室提供改进的光束均匀性和对杂质剖面的精确控制。此外,灵活的配置组件和监控套件可确保兼容性和监控数据,从而提供最高的植入精度。