二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9241296 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一种离子植入器和监视器，旨在确保精确准确的离子植入。AXCELIS Paradigm XE是一种高性能的离子植入器和显示器,为各种半导体工艺提供了最佳的灵活性和效率。适合300毫米晶圆尺寸的生产控制，最大加速电压高达80 keV。EATON NOVA Paradigm XE具有独特的多光束设备,可在晶圆表面均匀分布颗粒。这是通过使用至少八个单独的植入器炮梁来实现的。这些光束中的每一个都有一个单独的驱动机构，它可以使用户以全范围的可调整性精确控制光束强度和扫描速度。此外,此系统还提供各种高级工艺控制,例如超步进梁控制。范式XE具有多种安全和环境特性。该单元设计符合粒子排放方面最严格的标准，符合现行行业标准。该装置还利用先进的过滤和有限的源相互作用机制。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE的性能和成功关键在于集成电子产品包。这个软件包包括一个先进的可重复植入控制单元以及一系列的监控和光学系统。集成电子传输机的设计是为了保证最高效的结果，而光学监控工具则为用户提供实时反馈。总体而言,AXCELIS Paradigm XE是一款先进的离子植入器和显示器,旨在提供最佳性能。通过利用最新的粒子束技术，该装置确保了一致和准确的结果，同时提供了广泛的过程控制选项。集成的电子封装确保了可靠和可重复的植入性能，而先进的过滤机制确保了低颗粒排放水平。简而言之，EATON NOVA Paradigm XE是用于半导体应用的理想的高性能解决方桉。