二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9282115 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是为离子植入而设计的晶圆处理设备。该系统能够加工复杂先进的半导体制造材料。它结合了传统的离子植入与自我调节技术的鲁棒性。AXCELIS Paradigm XE单元通过高端显示器提供从第一个晶片到最后一个晶片的总体精度和控制,允许用户在操作过程中对机器进行快速、准确的实时更改。EATON NOVA Paradigm XE利用高功率光束源，使工具达到高达15千瓦的最大剂量速率。该源还在整个晶片区域提供了特殊的剂量均匀性和均匀性，同时允许特殊的剂量范围。这项资产配备了大型、两级旋转阀，用于精确控制和定制剂量率。此外，范式XE的光束线设计为最大限度地提高处理速度，控制光束能量扩散，并适应广泛的光束技术。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE的集成监控模型为用户提供了卓越的可见性和准确性。它提供了非常精确的反馈控制设备，以及全自动气体监测系统，以提供实时反馈并保持准确的气体水平。此外，还可以使用可编程控制器为不同的应用和材料快速设置设备。控制器还用于确保满足正确的条件和配方参数，以达到期望的效果。最后,AXCELIS Paradigm XE提供一流的安全功能,如紧急情况下的全安全关闭机。此外,它还配备了双级警报,以便在发生工具故障或任何其他异常时有效地向用户发出警报。最后，EATON NOVA Paradigm XE是为半导体产业设计的强大的离子植入和监控资产。除了剂量率和控制、综合监测模型和安全特性外,范式XE提供了最高级别的性能,并能够产生尽可能好的结果。