二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9029819 待售
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EATON NOVA/AXCELIS范式是为先进技术半导体制造设施而设计的离子植入器和监控器。它是当今市场上最先进、最可靠的植入物之一,为设计师提供了对植入过程无与伦比的控制。AXCELIS Paradigm是一种双光束植入器,结合了常规的直接光束和创新的间接光束,可以进行精确准确的植入。直接光束基于一个经过验证的可靠平台,对植入能量提供了极好的控制。它可以输送广泛的离子,包括硼、碳、的、磷和硅。间接光束在1微米的范围内提供精确度,并允许在3D设备中高度精确的对准和植入层。这两根梁都具有先进的安全功能,如冗余级别的保护、人机界面、直观操作和自动安全测试。此外,EATON NOVA Paradigm还配备了业界领先的显示器,用于在植入过程中控制植入层。监视器可以实时识别并提醒操作员植入过程中的任何潜在偏差。它还可以识别过程中可能排放的任何有害物质,并在发生任何风险之前予以制止。总体而言,范式对于那些需要先进离子植入物的人来说是一个完美的选择。它提供了对植入过程的无与伦比的控制、完整的安全功能以及可靠、准确的3D设备层植入。
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