二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9215196 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm是一款现代化的离子植入器和监控设备，其设计目的是在半导体工业中提高晶片的加工精度和精度。它负责在制造过程中将离子注入晶圆表面，并监控其沉积和运动。该系统具有高精度的离子源和能量控制器，可以精确控制植入层的特性。腔室还配备了一个负载锁单元和一台精密的真空机，允许在短时间内高效处理多个晶片。离子源由线性加速器供电，能够达到一定范围的能量，从而产生更精确的植入剂量。来源由石英圆筒保护，有助于最大限度地减少污染。该工具的光束线设计采用了配有静电偏转器的抛物面镜，以准确扫描目标区域。这样可以确保精确的植入物均匀分布在晶片表面。该资产还通过使用梁位置监测器和残留气体分析仪对植入层进行实时监测。这些测量被用来验证离子植入的准确性。AXCELIS Paradigm在半导体工业晶片的加工中提供了最先进的精度和精确度。它提供了高精度的离子源，以及先进的真空和负载锁定系统，以及实时监控功能。这些特性允许精确植入均匀分布在晶片表面的层,以确保准确的结果。对于那些希望提高晶片加工效率和质量的人来说，该模型是一个有价值的工具。