二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9235773 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm是一种坚固可靠的离子植入器和显示器，设计用于增强离子植入和精确离子轰击。它结合了高效可靠的中能量（30-60keV）离子植入设备和综合监控系统。它旨在消除不需要的光束污染物，最大限度地减少副产物室污染，并优化光束运动。AXCELIS范式具有独特的圆柱形植入室。这个圆柱形的腔室减少了离轴杂质水平，增加了光束强度的均匀性，改善了试样的表面处理。这样可以提高效率进行精确的离子轰击。EATON NOVA Paradigm单元还提供了可靠稳定的高压电源，确保样品在不波动的情况下接收到适当的植入电压。包括一个具有圆形对称透镜的离子源，该透镜提供均匀的植入和最小化的光束污染。蚀刻的萃取栅格确保光束清洁，磁滤器提供进一步的光束净化。高级高级监视机器使用集成的前端计算机界面来显示运行参数,以监视工具的性能。这允许对植入条件进行调整，使资产处于控制和正常运行状态。范式还利用燃气箱结构和智能真空能力最大限度地减少离子轰炸室中的任何污染。真空模型可以调整到不同材料的最佳分压，对于获得精确的光束能量至关重要。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm是一种先进可靠的离子植入器和监控装置，提供均匀植入，污染最小。其圆柱形腔室设计确保了精确的光束定位和可重复的结果，而其精密的监控设备则能够对所有运行参数进行实时监控。AXCELIS范式是中等能量离子植入的理想选择，在超细膜的精密沉积方面具有卓越的性能。