二手 EATON NOVA / AXCELIS PCB Board for GSD #293647251 待售

EATON NOVA/AXCELIS PCB Board for GSD是一款多功能离子植入器和显示器，设计用于半导体制造和工艺控制。它能够在一个过程中控制掺杂剂、离子和材料的植入。通过控制离子的速率和分布，有助于确保准确和可重复的处理。PCB板包含许多不同的板，包括主控制器板、成像器板和配电板。主控制器板容纳GSD芯片，并提供用户与设备的接口。它由数字信号处理器（DSP）和32位微控制器等专用组件组成。成像板有一系列的CMOS传感器，用于可视化植入电荷分布和形状。电源板包含模拟和数字电源组件的组合。用于GSD的AXCELIS PCB板可同时控制多个植入过程。它支持多达80个独立的区域，可以用植入能量和剂量单独编程。该系统的开放式体系结构使得能够集成额外的外围设备，如发射器、晶片和掩码。它还具有内置配方编辑器,允许用户轻松管理现有流程并创建自定义配方。该板具有先进的控制能力和植入过程的综合监测单元。此监视机器支持对流程的实时反馈,并提供诊断信息以方便快速故障排除和优化。GSD提供了一个强大灵活的平台，可以容纳最新的离子植入器和相关工具。EATON NOVA PCB Board for GSD专为易于安装和操作而设计,其模块化和紧凑的设计可快速无缝地集成到现有系统中。该板具有强大的设计、质量组件和直观的用户界面,为离子注入和过程控制提供了理想的解决方桉。