二手 EATON NOVA / AXCELIS Purion H2 #9292991 待售

EATON NOVA/AXCELIS Purion H2是一种离子植入器和监控器，旨在处理各种各样的离子植入需求。AXCELIS Purion H2提供优化的光束均匀性、精度和出色的污染防护，以确保在最高可重复性水平上实现多次植入。它具有1.4 mA的最大输入束电流，并且能够达到高水平的输出电压，使得它在广泛的应用中高适合于重掺杂。EATON NOVA Purion H2是完全自动化的,允许用户对光束参数进行编程和监控,这些参数可以在整个植入过程中根据需要进行调整。自动化功能包括光束强度控制、光束电极电压调节、发射电流选择等。Purion H2能够接受广泛的源材料，包括硼、碳、氧、氮、贵气体等等。它还配备了一个装有过程控制电子设备的控制台，以及一个用户界面，用于监控植入过程。用户界面设计得直截了当、直观，让用户能够准确轻松地调整参数。此外，EATON NOVA/AXCELIS Purion H2还设有一个综合安全系统，包括防溅区和防护罩，以防止人员受到任何污染或伤害。整个系统围绕一个最先进的真空密封室构建，确保达到最高的可用植入率。AXCELIS Purion H2也可以编程为执行多个同时离子植入，增加了它的多功能性。此外，该软件包还包括一个综合软件包，旨在分析和监测数据，以实现流程优化。最后,EATON NOVA Purion H2是一种离子植入器和监测器,具有广泛的特性,包括优化的光束均匀性、精度、污染防护和高输出电压。这使Purion H2能够处理各种离子植入需求，提供高度可重复、可靠和多用途的系统。