二手 HITACHI IP825A #293630417 待售

HITACHI IP825A设计用于微电子器件制造过程中高效、高精度的离子植入和监控。设备组合组由两个模块-离子植入器和辐射监测器组成。提供了性能最好的离子植入和监测微电子器件，高可靠性的IP825A是能够达到高精度植入具有极高的动态范围比现有系统。它的分辨率高达1：500,扫描速度高达120°/秒。这允许更有效的植入过程和更好的产量交付。离子植入器模块便于各种过程，包括植入Ar+、Xe+、Ni+、O+、B+和N+粒子，以及离子蚀刻。它还有一个内置的电荷补偿系统，减少植入的带电粒子。同时，辐射监测模块通过不断监测植入条件和保证质量性能，有助于保持高精度环境。它的扫描窗口尺寸可达12毫米，确保更精确地测量粒子束参数。利用单位图分析和监测光束角度、光束光斑大小等，大大提高了工艺效率。另外,机器在一个灵活的程序中控制两种仪器.这使得在实时分析监测数据的同时，更容易操作植入工具的参数。资产还可以保存数据，系统召回。该模型采用直观的图形用户界面（GUI），简化了植入物的控制和监控。4.3英寸彩色液晶面板专为快速、轻松观看而设计。它还为长期可靠性而设计，拥有90天的待机周期。HITACHI IP825A组合集适用于广泛的微电子器件制造工艺.先进的功能和方便用户的操作允许有效的监测和植入操作。这样可以确保质量结果和提高吞吐量。