二手 INTEVAC Matrix #9294239 待售
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ID: 9294239
Implanter
Sequential pattern implant system:
Roughing pump
DI Chiller
Electrical power distribution
Implant source chamber
Energy system
Chamber exhaust:
Toxic exhausts from implant chamber roughing pump
Safety interlock
Gas box panel cover
Minimum differential pressure
Gas over pressure
Chamber vacuum
Module:
FORTIX Wafer loader and unloader
Wafer receiving station
Wafer buffer
Load lock chamber
Implant chamber
Mask and alignment
Peripheral:
Pump
DI Chiller
Power Distribution Unit (PDU).
INTEVAC Matrix是一种离子植入器和监视器设备，在世界范围内用于各种应用。该系统用于在薄膜和半导体器件中精确、高速地注入离子。也用于通用材料改性和薄膜分析。该单元基于带电粒子加速度的原理，植入的离子受到不稳定的控制。这是通过将离子聚焦并加速到目标材料上并停止和植入来实现的。对离子束进行精确的成型和监测，以减少在目标上的光栅时间，并提供高质量的结果。机器还配备了先进的自动光束聚焦装置，确保光束在整个目标区域上的均匀性。它能够在四分之一微米特性上进行植入，也与大多数腔室系统和晶圆尺寸兼容。该工具还配备了高级诊断功能,可用于过程和剂量控制以及材料分析。Matrix具有复杂的图形用户界面,可轻松操作并提高设备精度。它还包括一个在线剂量测量功能，允许用户实时评估晶圆上的剂量沉积。此外，该资产能够进行温度和压力监测，从而提高了工艺稳定性。该模型在植入过程中提供了无与伦比的精度，并已用于生产和研究。它有广泛的应用，如对半导体进行掺杂，转化结晶物质，或将掺杂剂植入金属。它可以用于多种不同的材料，包括硅、散射、砷化散和钛。INTEVAC Matrix是半导体行业的重要工具。它提供了一种可靠的植入方法，同时也允许无懈可击的精度和准确性。
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