二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE ThermaProbe 420 #293619012 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE ThermaProbe 420是一种最先进的离子植入器和显示器，旨在促进和控制离子在半导体晶圆中的极其精确的植入。KLA ThermaProbe 420具有范围广泛的离子能量范围,从50 eV到450 keV,并具有广泛的编程电流范围,以确保对植入和监控过程的最佳控制。它的高性能和精确度使得各种材料能够植入一系列材料中，从硅和二氧化硅到多晶硅和复合半导体材料。集成光束监测系统能够对离子束进行非常快速、实时的成形，从而能够更好地控制植入深度，并提供非常高的精度和可重复性。TENCOR THERMA-PROBE 420还具有较宽的植入物对植入物剂量变化范围，提供对个体植入物剂量的最大控制。它的超灵敏离子束探测器甚至检测离子束中最小的变化，并提醒使用者任何差异。用户还可以调整梁的位置和梁的形状，以确保在所有基板上均匀植入。此外，其先进的数据采集、分析和报告功能使用户能够获得跟踪植入过程进展所需的所有信息。TENCOR ThermaProbe 420还配备了谐波频率和静电能量等参数变化的多种光束源，以及一系列诊断和数据采集仪器。这为用户提供了控制植入程度和监控植入过程进度的灵活性。为实现浅层和深层植入物的最佳精度和精确度，它还提供了多种调节光束参数的功能。综上所述，THERMA-WAVE ThermaProbe 420是一款功能强大、高精度的离子植入器和监视器，为每个植入过程提供了高度的灵活性和准确性。其先进的数据采集、分析和报告工具、集成光束监测系统，以及种类繁多的光束源和诊断仪器，使其成为任何高精度植入项目的理想选择。