二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE ThermaProbe 420 #9315382 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE ThermaProbe 420是一种先进的、用途广泛的离子植入器和监视器，设计用于半导体材料的清洁、精确处理。该装置旨在满足芯片制造等高精度应用的需求，以及MEMS和纳米技术制造等要求更高的应用。这台多功能机器能够将离子植入半导体基板的预定义区域，并对过程进行精确监控。KLA ThermaProbe 420的核心是一个高质量的离子源，产生具有高空间精度和均匀剂量率的单带电荷离子。离子源由一个端口组成，可以配置为产生正离子或负离子。这些离子是通过电气、化学和热工程组合产生的，确保了清洁、均匀的植入。该设备通过高级软件和硬件得到进一步增强。凭借内置的诊断和监测能力，它能够精确控制离子的剂量和富集，以达到底物中所需的性质。它还包括一个发射谱分析系统，记录和显示基板中存在的各种元素，使工程师能够调整参数以更好地控制。TENCOR THERMA-PROBE 420具有很高的灵活性，提供能量范围、脉冲长度和频率、电流密度、蚀刻条件、光束宽度和强度等可编程源参数。这允许用户精确地定制植入过程，以在基板内产生所需的属性，或者模拟特定的过程。该装置还具有质量滤波器，能够调节离子能量，分离植入束内不同质量的离子。这种分离使得可以控制植入层的厚度和均匀性，以及细化离子剂量率的精确结果。THERMA-PROBE 420允许简单准确的使用而不牺牲精度。它是任何半导体应用以及更专业的利基应用的特殊工具。它具有高精度、详细的过程控制和安全机制,是广泛应用的可靠平台。