二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293666901 待售
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400是一款先进的半导体晶片和芯片离子植入器和监控设备。它为半导体行业的设备制造商提供离子束植入服务，其主要特点使其在工艺开发和生产操作中更快、更经济。KLA TP 400系统利用高能二极管源，产生和控制单电荷离子，形成高度可预测的剂量分布。它还支持各种光束源，允许一系列的应用，包括端点和微观植入。一个先进的气体反应堆收集、储存和分配离子种类，允许对设备进行各种过程的编程。该机配备了最新的离子植入技术，确保了最先进的晶圆监控。它有一个高速扫描工具同时基板监测和均匀性。它还具有使晶片在x、y和z轴上精确对齐的粒子帧驱动，以及高速、精确植入多个晶片的快速传输资产。该模型能效高，为最终晶圆操作提供了低成本的解决方桉。它具有高效的多蒸气输送设备和先进的工艺模拟能力。其机器人加载和机器人卸载系统提供高速、精确的存储和处理。KLA先进的TENCOR TP 400离子植入器和监控系统在性能和可靠性方面处于行业领先地位。其独特的特性使其成为生产级别结果和经济高效解决方桉的理想选择。该单元提供了简单的操作和维护，并通过高速扫描和精密离子控制加快了离子植入过程。先进的设备确保用户能够以最大的效率生产晶片和芯片。
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