二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 420 #293636349 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420离子植入器&Monitor是一种先进的半导体加工设备，利用离子植入器技术控制电子元件生产中的掺杂水平。KLA TP 420具有围绕紧凑、低成本平台开发的强大设计,非常适合在生产离散设备、内存芯片和集成电路时需要精确掺杂剂控制的应用。该系统配备了多个先进组件，包括高压电源、光束偏转器和离子源。高压电源向离子源供电，产生离子束。光束偏转器利用磁场控制离子束的路径，允许离子精确且可重复地传递到目标。离子源能够产生各种不同的掺杂物种类，为单位提供满足广泛生产需求所需的灵活性。该机具有高度精确和可重复的光束定位工具，允许在需要的地方提供可重复的离子植入剂量。它还配备了自动晶圆处理资产，允许在没有人工干预的情况下持续、不间断地运行。内置晶圆收集器可防止离子逸出模型,从而确保只植入所需的数量。该设备能够在-4°至75°C的广泛温度范围内运行,并且可以轻松调整以获得最佳性能。TENCOR TP 420还配备了全自动监控系统，使其能够连续检查整个单元的性能和输出，进一步提高其可靠性。机器还具有控制界面，允许最终用户根据需要快速调整刀具设置和参数。综上所述，THERMA-WAVE TP 420离子植入器和显示器是一种先进的离子植入器和显示器，非常适合半导体生产。它具有坚固的设计、先进的组件和许多功能,为电子组件的生产提供了必要的准确性和可靠性。其先进的监控资产、自动晶片处理和可调节的温度水平使其成为需要精确掺杂剂控制的应用的理想模型。