二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 420 #293820035 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420是一种革命性的离子植入器和监控设备，旨在对植入过程中释放的离子粒子浓度提供一致而准确的控制。这是通过创新使用基于近实时边缘检测的统一监控平台来实现的。借助该平台，系统能够快速检测离子浓度变化，并相应调整运行参数。KLA TP 420利用高功率、中等能量的离子束,可以量身定制以更好地匹配所需的植入轮廓。这是通过控制光束电流、其大小以及到达目标样品所需的时间来完成的。此外，该装置采用自动调谐和热补偿，以便对光束进行更精确的控制，从而实现所需的植入轮廓。TENCOR TP 420还包含了许多先进的功能，使植入过程更容易和更具成本效益。它提供了一种高分辨率、单音X射线源，用于产生植入目标的高分辨率图像，减少了由于不正确对齐而导致植入不准确的风险。机器还包括一个控制台，允许远程监控和控制植入过程，使其更容易调整植入参数，而不会离开你的工作站。此外，THERMA-WAVE TP 420拥有多项精密的安全功能。这些功能包括辐射防护系统、冷却工具和视觉补偿资产,确保模型安全高效地运行。设备还可以配备紧急关机开关，确保附近所有工作人员的安全。总体而言，TP 420是一个令人难以置信的创新和先进的工具，用于精确和精确控制离子植入。该系统非常适合半导体器件制造和沉积等应用，以及其他基于离子/表面的应用。此外，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420的先进特性和多功能性使其成为许多不同工业和研究实验室的重要工具。