二手 LINTOTT Series III #9223576 待售

ID: 9223576
Ion implanter Includes spare parts and electronics.
LINTOTT Series III是一款高度先进的离子植入器和监视器,具有多种功能,可以从头到尾高效监控每个植入物。该设备能够产生非常紧密的光束扩散,使操作员能够通过精细的粒度控制可靠地增强植入能量。Series III还具有利用多达20个波束通道以最大限度地提高效率和确保明确的植入物轮廓的能力。该系统采用三重源配置以获得最佳性能。主要的离子源是一种具有可调光束调谐和可调离子光学设计的高能​​氙离子植入器。二次离子源也可用于需要低能量、高剂量植入物的应用。最后,该单元包括一个三级单色氘核源,以实现更好的植入物均匀性和电池寿命延长。为了获得最大的控制和精度,LINTOTT Series III还配备了内置离子植入器控制器和集成光束电流监视器。控制器为用户提供可调剂量率,实现植入物的精确对准,并提供主动监控,以确保植入物保持在工艺规范内。板载光束电流监视器允许在整个植入过程中实时监测植入物电流水平。除了基本配置,Series III机还可以配备可选的High-Throughput In-Field Monitor,一种先进的光学扫描工具,在植入过程中实时监控植入物轮廓,提供光束的详细3D映射。集成的监视资产可以配置为提供额外的参数化信息,如梁分布、间距值、范围和总体大小。最后,LINTOTT Series III提供10年保修,涵盖所有基本组件和部件。这款车型高度可靠,设计提供多年不间断、强大的性能。强大的平台和用户友好的设计使其非常适合需要精确植入和监控的生产环境和过程。
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