二手 NISSIN Exceed 2000 #9144810 待售
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NISSIN Exceed 2000是一种离子植入器和显示器,设计用于半导体制造工艺。它能够以高精度和高精度将不同能量的离子植入不同的底物中。其先进的特点,允许了重离子的精密植入,例如氙和硼,以及对光束电流、光束能量、光束斑点大小等参数的精密控制和监控,以实现最大的工艺控制。内置的精密分析工具可实现准确和可重复的结果。超过2000具有独特的双级光束聚焦和抽取器抽取设计,可确保最高光泽。它使用真空室,其中提取的光束使用激光器聚焦,孔径控制的光束线帮助产生甚至聚焦的电流分布。腔室还包括可调参数,如孔径大小和用于控制梁轨迹的分段蒸发角。NISSIN Exceed 2000 implanter and monitor include a integrated analysis system that enable accessed, real-timate control and monitoring of critical process v其先进的算法有助于对植入周期所需的确切工艺条件进行适当调整。它还提供了用于诊断和控制的高级离子束分析套件。符合人体工程学设计的Exceed 2000由重型铝制底盘和不锈钢真空室构成,具有耐用性,旨在满足EMI和EMC认证要求。它还包括方便操作的用户友好触摸屏界面,并配有嵌入式处理器平台。NISSIN Exceed 2000专为范围广泛的半导体器件而设计,从简单的内存芯片到复杂的多层电路。其卓越的性能和增强的特性使其成为任何半导体制造工艺的理想选择。凭借其强大的结构和精确的控制,Exceed 2000是满足任何植入和监控需求的绝佳解决方桉。
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