二手 NISSIN Exceed 2000A #293738565 待售

NISSIN Exceed 2000A
ID: 293738565
晶圆大小: 8"
Ion implanter, 8".
NISSIN Exceed 2000A离子植入器和监控器是一种在半导体工业中广泛使用的令人印象深刻的机器。它是一种先进的离子植入器,具有最高的离子植入精度,可以让你精确控制样品的地下轮廓,达到最高质量标准。NISSIN EXCEED 2000 A具有高达5000 μ A的远光束电流,允许精确和速度达到低和高掺杂浓度。其广泛的能量范围允许从100 eV到45 keV的离子植入物具有高达10eV的动态能量范围。这使得许多不同的应用,从简单的Si掺杂剂到先进的III-V化合物半导体。Except 2000A具有快速平行光束扫描系统,可实现高达198毫米/分钟的速度,并具有出色的屏蔽效果,以提高光束线的稳定性。其他功能包括精密的机动化源截面和网格板,可提供通用的倾斜角和高达± 30°的偏转角,不需要对齐时间。EXCEED 2000 A的现代数字气体面板,连同其连续的气体流量和质量流量控制器,对植入速率进行了高精度的调节。它还包括一个氮气(N2)清除系统,以改进背面充电和更好的均匀性。该系统允许通过包括自动化过程监控来加强过程控制。这包括灯丝的温度控制、束电流、加速偏置、压力真空和气流。这些变量有助于保持一个变化最小的统一最终产品。NISSIN Exceed 2000A易于维护,使用的是生命周期维护任务,这些任务仅需计算机操作员的最少努力即可完成。其用户友好的设计也使得它易于使用,允许任何人从新手到训练有素的技术人员操作它。NISSIN EXCEED 2000 A ion implanter and monitor is a really amazing machine which can help you repeatable results.凭借其远光束电流、动态能量和扫描速度、精度和易用性,它是满足半导体行业需求的最佳可用机器之一。
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