二手 NISSIN Exceed 2300AH #293639237 待售
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ID: 293639237
优质的: 2003
Ion implanter
End station
B/L
(2) Plates, shield door
Red box
(4) Load ports
(2) Shield walls
B/L door
Pump rack, shield upper
PC rack, axcel tube
Accessory
Transfer
Missing parts:
Main body
Dry pump
2003 vintage.
NISSIN Exceed 2300AH是一种高性能的离子植入器和监视器，用于将离子精确植入各种底物中。Except 2300AH使用中和器和电荷交换设备，通过创建空间精度高的三维、均匀的粒子场，产生高阻塞和高精度的离子植入。其高达300 KV的高加速电压允许极其精确的控制，并使得低能量扩散。NISSIN Exceed 2300AH具有最优化的光源和目标几何形状,可最大程度地减少阴影,并且还配备了两个宽离子源,以确保稳定和恒定的离子束。其射束放射系统包括电荷中和特性，以减少离子污染。集成光束成形单元可确保在较宽的均匀区域上具有均匀的光束特性。该机还采用CCD摄像机来测量光束直径和计算光束轮廓。此外,Except 2300AH还具有场发射扫描电子显微镜（FESEM）,其设计用于检测基板表面微小离子的缺陷和其他不规则性。NISSIN Exceed 2300AH适用于广泛的应用，因为它能够在广泛的能量、剂量和表面积上植入离子。该工具还被设计为允许剂量率调整，这在某些应用中极为有用。Except 2300AH的控制单元旨在产生高效和有效植入的所有条件。资产的设置是为了提供最佳性能和控制各种参数的能力。最后,NISSIN Exceed 2300AH非常用户友好,包括直观的图形用户界面。此外,它还提供了一个全面的网络,能够与设施中的其他组件进行通信。Except 2300AH提供强大的软件和硬件,可确保工厂以最高的效率和准确性运行。
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