二手 NISSIN Exceed 2300AV #198070 待售

NISSIN Exceed 2300AV是一种提供卓越性能和多功能性的离子植入器和监视器。机器可以将硼、磷或氧等各种离子植入各种半导体材料中。它能够以8MeV 5V的精度植入最大±能量的离子，占空比为每小时1.1%。这允许离子精确和可重复的热扩散到底物，这有助于减少设备的可变性和使复杂的晶体管设计。Except 2300AV还配备了一个多网格监视器,它提供有关植入离子的实时信息,从而可以高效、准确地控制光束电流。获得专利的SCALON Focus系统提供极好的辐照精度,线宽可达0.27 µm,总离子束电流精度± 1%,确保每个设备都包含正确的离子水平。此外，VIBEJET离子束使离子的均匀注入具有1%的均匀能量扩散。NISSIN Except 2300AV还具有卓越的非统一补偿技术。这包括一个均匀性校正算法，通过在植入过程中调节光束电流、植入物角度和光束在晶圆上的剂量，使植入物轮廓中的非均匀性最小化。这为单个晶片上的所有设备提供了更好的产量和统一的性能。总体而言,Except 2300AV是一种用途广泛、可靠的离子植入器和监视器,具有多网格监视器、SCALON聚焦系统和VIBEJET离子束等功能,可提供卓越的性能。其非统一补偿技术确保了设备性能的统一,有助于确保经济高效的生产和缩短上市时间。