二手 NISSIN Exceed 300AH #9103092 待售

NISSIN Exceed 300AH
ID: 9103092
晶圆大小: 8"-12"
Ion implanter, 8"-12".
NISSIN Exceed 300AH是一种高度通用和可靠的离子植入器和显示器,旨在制造高度精确的半导体器件。它是精密半导体器件制造商的理想选择,因为它可以进行高精度的光离子植入,如硼、磷、砷,以及较重的金属离子,如铜、金、银。Except 300AH具有双模过程控制技术,用于监视和控制离子植入操作,以确保传递的能量和剂量保持在预定的范围内。这种双模过程控制技术还具有改变植入参数实时均匀调节剂量的能力,保证植入操作的高精度和精确度。此外,利用其内置的扫描检测器系统,能够自动检测和调整参数,以实现最优植入。NISSIN Exceed 300AH的模块化设计为用户提供了扩展离子植入安装的灵活性,以及许多外围设备组件。这些组件包括目标反射器、扫描控制器、离子源电源、检测器表和低压连接器。Except 300AH还拥有一个完全集成的电源系统,在整个植入周期中确保稳定可靠的能量,从而延长组件的寿命。而且,它集成了一个低压检测器,使用户能够在植入操作过程中监控植入过程。这确保了所有沉积的离子都在同一深度植入,从而导致更严格的植入控制。此外,NISSIN Except 300AH包括复杂的诊断,以优化底物温度和颗粒均匀性.它提供了自动喷嘴定位器,通过确保均匀剂量,促进了离子的精确注入和离子通量的增加。机器还具有多种安全功能,如禁区,以防止由于过度给药或其他高能粒子进入敏感区域而对关键部件造成意外损坏。Except 300AH旨在为各种应用(包括半导体器件的植入)提供精确离子植入操作的出色控制。它是一个可靠和先进的设备,为离子植入操作提供了卓越的过程控制和准确性。
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