二手 NISSIN NH-20S #293752265 待售
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NISSIN NH-20S是一种离子植入器和监控设备,设计用于将优质、高纯度的离子植入集成电路和电子器件表面。它可用于利用溅射技术生产平面和3D设备。NH-20S提供了广泛的选项,例如可变光束电压、光束电流范围和基板运动,以实现出色的过程控制。NISSIN NH-20S的束线经过优化,提供了最高精度的离子植入性能,具有近束像差和高阶成像等特点,以减少基板运动诱导误差。该系统可以在任何需要的溷合物中同时支持负离子和正离子,并采用自动调整操作来保持准确的植入剂量和均匀性,即使基质运动受到外部因素的影响。NH-20S自动存储不同层的植入物轮廓,并跟踪植入过程。此外,它还包括一个内置的交互式用户界面,这使得操作更加人性化。该单元还具有多种监测系统,以确保监测结果时的质量保证,包括离子计数和反向散射分析。NISSIN NH-20S与广泛的离子源兼容,包括NISSIN E Turbo-Ion Implator和NISSIN AM精炼离子源,可用于掺杂和沉积应用。机器还支持将植入过程中诱导的热能转化为电能,确保快速均匀的植入。NH-20S由于高速运行而非常适合大批量生产,但也可用于中小型生产中的定制设计。该工具非常可靠,具有自我诊断功能,可监控资产的操作功能,并在必要时自动启动维护。此外,所有组件的设计都达到了最高的质量,以达到最佳和最精确的离子注入规格。
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