二手 NISSIN NH 20SP EX #293603084 待售
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ID: 293603084
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Medium current implanter, 8"
(4) Carrier cassettes
(2) Electrostatic electrocodes
Swing-arm scan mechanism
Parallel beam implantation
Dose uniformity control
In-situ parallelism and uniformity monitor
Large-tilt-angle implantation
Implantation modes: Step rotation / Angle step
1996 vintage.
NISSIN NH 20SP EX是由NISSIN Electric Co设计制造的最先进的离子植入器和显示器。Ltd.它是为各种材料的基板提供可靠、精确、高效的光束覆盖而建造的。NH 20SP EX使用高功率电子枪(HPG)生成离子,然后将其加速到基板上进行植入。这款离子植入器配有高精度、照明的标线和机动化的舞台,可精确对准,高效二维扫描,光束覆盖均匀。它可以提供可接受的广泛的光束电流和能量,使其适合多种植入应用。NISSIN NH 20SP EX利用多通道植入物监测器,由三个Lambda二极管组成,用于连续测量植入物参数。该监视器可以很容易地检测到操作参数的微小变化,快速补偿任何缺陷以维持所需的植入过程。NH 20SP EX还具有Y光束成形系统,可防止生成任何次级离子。这进一步促进了对任何尺寸基板的均匀光束覆盖。此外,集成的精密定位系统允许对基板表面进行高度精确的光束居中。为确保安全和操作效率,NISSIN NH 20SP EX设有封闭式互锁门。这些门既是安全装置,也是提供不间断服务的手段,以最大限度地提高生产力。总体而言,NH 20SP EX是一种通用、精确、高度可靠的离子植入器和监视器.它具有广泛的先进特点,是任何材料基材可靠、精确、高速植入的理想选择。
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