二手 NISSIN NH-20SR #293637187 待售

NISSIN NH-20SR是日本制造商NISSIN Electric Works开发的离子植入和监控设备。配备高精度离子源，最大束流容量达20mA。该系统由多褶状射频离子源、离子束延伸管、双位移束线、高能量植入的高质量束线单元、X-Y扫描单元、高压多通道电源、数字输入控制器、高灵敏度数字显示监视器组成。NISSIN NH 20SR是离子植入、反应性离子蚀刻和离子植入及加速顺序工艺应用的理想选择。它能够在从低到高的不同能量下植入各种离子如B、He、P、Si、As和Cs。该单元提供极宽范围的电源电压，高达60 KV，具有很高的光束电流调节能力。多束输出允许高精度植入调节。NH-20SR是一款用户友好的台式植入器,具有独特的人体工程学设计,易于处理,维护更少。它可以有效地实时监测植入过程和结果，用数字读出监视器显示光束电流和植入剂量率。NH 20SR可用于研究和制造双结太阳能电池、晶体管和MEMS器件。该机具有嵌入式三步高精度径向磁场，可精确引导离子束植入薄基板。它在低噪声水平下运行，具有很高的收集效率，允许减少对基板的损坏和高产率。NISSIN NH-20SR的另一个显着特点是它的自我监控工具，它允许立即检测任何在预设范围之外的光束电流/电压波动，并有助于防止设备制造故障。NISSIN NH 20SR由于其先进的特点和运行可靠性，广泛应用于各种高新技术产业生产具有高产产量的耐用可靠的高性能器件。其显着的成本效益、紧凑的设计和易于维护,使其成为制造工厂、研究和工程机构以及大学的理想解决方桉。